質(zhì)量流量控制器即MassFlowController（縮寫(xiě)為MFC），不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說(shuō)，其就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確地測(cè)量和控制系統(tǒng)中的流量。然而，在流量控制器的上下游，沒(méi)有絕對(duì)的信心來(lái)確定流量是準(zhǔn)確的。如果不采取任何對(duì)策，則不會(huì)將所需的確切流量傳遞給過(guò)程。隨著流量的最小化，系統(tǒng)組件（如管道、過(guò)濾器和閥門(mén)）的相對(duì)內(nèi)部體積似乎增加了。這會(huì)影響系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)，因?yàn)轫憫?yīng)時(shí)間會(huì)減慢，導(dǎo)致直接控制的損失。
在許多低流量流體控制系統(tǒng)中，為了控制低流量，最薄弱的環(huán)節(jié)通常不是質(zhì)量流量傳感器。而是流體被氣體壓制，當(dāng)氣體夾在液體流中時(shí)，它可能以溶解氣體或氣泡的形式出現(xiàn)。在這兩種情況下，它對(duì)平均質(zhì)量流量沒(méi)有顯著影響。然而，氣泡傾向于破壞流動(dòng)的穩(wěn)定性。通過(guò)快速準(zhǔn)確的流量計(jì)可以監(jiān)測(cè)效果。這種物理效應(yīng)發(fā)生在任何具有溶解氣體和下游壓降的低液體流量系統(tǒng)中，與測(cè)量原理或控制閥類(lèi)型無(wú)關(guān)。
以下是關(guān)于質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確測(cè)量和控制系統(tǒng)中流量的一些重要特點(diǎn)：
1、質(zhì)量測(cè)量：通過(guò)測(cè)量氣體通過(guò)設(shè)備時(shí)的質(zhì)量來(lái)確定流量。它采用質(zhì)量傳感器來(lái)監(jiān)測(cè)氣體質(zhì)量的變化，并將其轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的流量值。
2、高精度：通常具有較高的精度，能夠提供穩(wěn)定和準(zhǔn)確的流量控制。它可以在寬范圍內(nèi)測(cè)量和調(diào)節(jié)氣體流量，具備微小流量變化的靈敏度，能夠滿(mǎn)足對(duì)于精密控制要求較高的應(yīng)用。
3、可調(diào)節(jié)性：可通過(guò)控制閥門(mén)的開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。它通常配備了精確的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)廣泛的流量范圍調(diào)節(jié)，并具備快速響應(yīng)和穩(wěn)定性能。用戶(hù)可以根據(jù)具體需求，在所需的流量范圍內(nèi)進(jìn)行靈活調(diào)整。
4、數(shù)字控制與通信接口：通常具有數(shù)字化控制功能和通信接口，例如RS-232、RS-485、Modbus等，可以通過(guò)計(jì)算機(jī)或其他外部設(shè)備進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)和控制，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作和數(shù)據(jù)采集。
5、溫度和壓力補(bǔ)償：通常內(nèi)置溫度和壓力傳感器，用于對(duì)流量值進(jìn)行溫度和壓力補(bǔ)償。這種補(bǔ)償功能可以消除環(huán)境條件的影響，提供更準(zhǔn)確的流量測(cè)量結(jié)果。
6、可靠性和穩(wěn)定性：通常具備良好的可靠性和穩(wěn)定性，適用于長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行和重復(fù)使用。它可以在不同的工作條件下保持精確的流量控制，具備較長(zhǎng)的使用壽命和較低的維護(hù)要求。
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