分析氣體質(zhì)量流量控制器的發(fā)展趨勢(shì)
氣體質(zhì)量流量控制器通過(guò)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量來(lái)實(shí)現(xiàn)精確控制。其工作原理基于熱傳導(dǎo)定律,即當(dāng)氣體通過(guò)傳感器時(shí),傳感器表面的溫度會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量溫度變化,可以計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量??刂破鞲鶕?jù)設(shè)定的目標(biāo)流量和實(shí)際測(cè)量值之間的差異,調(diào)整閥門的開(kāi)度,...