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科氏液體質(zhì)量流量控制器

簡要描述：科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

  • 產(chǎn)品型號：5911D4
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-06-25
  • 訪  問  量：928

詳細介紹

品牌GRYLLS/格里爾斯應用領域環(huán)保,化工,能源,電子

科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

科氏液體質(zhì)量流量控制器5911D4主要技術指標

　　1

　　量程范圍

　?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM

　?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM

　　2

　　準確度

　　±1%F.S ±0.5%F.S

　　3

　　線性

　　±0.5~1.5%F.S

　　4

　　重復精度

　　±0.2%F.S

　　5

　　響應時間

　　電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec

　　6

　　工作壓差

　　0.1~0.5MPa

　　7

　　耐壓

　　3MPa

　　8

　　工作環(huán)境溫度

　　0~70℃

　　9

　　數(shù)字量

　　RS485 MODBUS協(xié)議

　　10

　　模擬量

　　DC 0~5V ，4~20mA 可選

　　11

　　供電

　　DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA

　　12

　　電氣連接

　　DB15

　　13

　　漏率

　　1×10\u001F-8SCCSH


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