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格里爾斯科氏氣體流量控制器

簡(jiǎn)要描述：格里爾斯科氏氣體流量控制器它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器

  • 產(chǎn)品型號(hào)：5951DD4
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2024-06-25
  • 訪  問(wèn)  量：836

詳細(xì)介紹

品牌GRYLLS/格里爾斯應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子

GRYLLS格里爾斯科氏氣體流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器

帶顯示屏和操作按鍵尺寸圖

image.png

GRYLLS格里爾斯科氏氣體流量控制器5951DD4主要技術(shù)指標(biāo)：

　　1

　　量程范圍

　?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM

　?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM

　　2

　　準(zhǔn)確度

　　±1%F.S ±0.5%F.S

　　3

　　線性

　　±0.5~1.5%F.S

　　4

　　重復(fù)精度

　　±0.2%F.S

　　5

　　響應(yīng)時(shí)間

　　電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec

　　6

　　工作壓差

　　0.1~0.5MPa

　　7

　　耐壓

　　3MPa

　　8

　　工作環(huán)境溫度

　　0~70℃

　　9

　　數(shù)字量

　　RS485 MODBUS協(xié)議

　　10

　　模擬量

　　DC 0~5V ，4~20mA 可選

　　11

　　供電

　　DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA

　　12

　　電氣連接

　　DB15

　　13

　　漏率




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